德國Physik Instrumente- 緊湊型XY壓電位移臺

PI不僅開發和生產各種定位平臺和執行器，用于線性，旋轉和垂直運動或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應客戶特定的應用或提供用于運動和定位的成品子系統。

PI產品應用領域：

半導體制造

醫學工程

生物技術

工廠工程

表面計量

天文學

PI產品系列：

納米定位壓電彎曲平臺

微型平臺

線性平臺

線性執行器

旋轉平臺

XY位移平臺

六足位移臺

設計系統

快速多通道光子學對準

PI產品：

PI提供廣泛的定位平臺和執行器，用于線性，旋轉和垂直運動以及不同軸的組合。

聚光燈下的產品

PI級的線性和旋轉定位平臺，負載能力為10至50 kg，可提供1微米或更小的重復精度。

應用與市場

PI為工業和研究提供解決方案，例如醫療工程，工業自動化和半導體制造。

1.PI XY位移平臺
     高精度的2軸納米定位系統集成了PICMA®壓電執行器，以實現的可靠性。通過使用高質量的納米計量傳感器，可以實現具有較好穩定性的可重復，無漂移的定位

用于小負載的2軸壓電掃描儀經常用于掃描和跟蹤過程。它們的快速步進運動提高了光學系統的分辨率。這些包括相機技術中的成像過程和圖像識別，例如用于生物識別或文檔存檔。

型號介紹：

緊湊型XY壓電位移臺

P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ納米定位器：用于納米定位的緊湊型兩軸壓電系統

P-620.2 – P-629.2 PIHera XY壓電平臺：行程范圍可變的高精度XY納米定位器

XY壓電撓性位移臺

P-612.2 XY壓電納米定位系統：緊湊，帶光圈

P-541.2•P-542.2 XY壓電平臺：大口徑薄型XY納米定位系統

P-733.2 XY壓電納米定位器：高精度XY光圈掃描儀

P-734 XY壓電掃描儀：具有小跳動和清晰光圈的高動力系統

P-763緊湊型XY納米定位系統：光圈清晰低剖面，經濟高效的壓電掃描儀，用于生物識別：CCD芯片可在兩個軸上動態移動，以提高像素分辨率

P-713 XY壓電掃描儀：具有成本效益的低矮OEM系統

P-545.xR8SPInano®XY（Z）壓電系統：用于高分辨率顯微鏡的廉價納米定位系統

P-545.xC8SPInano®Cap XY（Z）壓電系統：電容位置測量，用于超高分辨率顯微鏡

P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統：快速XY（Z）平臺用于高動態顯微鏡

2.PI XYZ壓電彎曲掃描儀

PICMA®壓電執行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執行器的使用壽命是傳統聚合物絕緣執行器的十倍之多。事實證明，沒有單一故障的1000億次循環。

零游隙撓性導軌，導向精度高

撓性導板無維護，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且對沖擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可以在寬溫度范圍內工作。

平行位置測量，在納米范圍內具有很高的跟蹤精度

所有的自由度均以單個固定參考為參考。可以實時地（取決于帶寬）主動補償與另一軸發生的不必要的運動串擾（主動引導）。即使在動態操作中，也可以在納米范圍內實現高跟蹤精度。

型號介紹：

P-733.3 XYZ壓電納米定位器：高精度XYZ光圈掃描儀

P-616NanoCube®納米定位器：緊湊的并聯運動壓電系統，用于納米定位和光纖對準

P-611.3NanoCube®XYZ壓電系統：緊湊的多軸壓電系統，用于納米定位和光纖對準

P-561•P-562•P-563 PIMars

納米定位臺：高精度納米定位器，多可容納3個軸

P-517•P-527多軸壓電掃描儀：高動態納米定位儀/掃描儀，具有直接位置測量功能

用于顯微鏡的壓電撓曲XYZ掃描儀

PI (Physik Instrumente)P-621.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統，100微米 × 100微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

PI (Physik Instrumente)P-622.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統，250微米 × 250微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

PI (Physik Instrumente)P-625.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統，500微米 × 500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

PI (Physik Instrumente)P-628.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統，800微米 × 800微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

PI (Physik Instrumente)P-629.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統，1500微米 × 1500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

PI (Physik Instrumente)P-713.20L  Low- Profile OEM XY Nanoscanner, 20 μm × 20 μm, Open- Loop, LEMO Connector(s)

PI (Physik Instrumente)P-713.2SL  Low- Profile OEM XY Nanoscanner, 15 μm × 15 μm, SGS Sensor, LEMO Connector(s)

PI (Physik Instrumente)E-610 Piezo Amplifier / Controller

PI (Physik Instrumente)E-621 Piezo Servo- Controller & Driver

PI (Physik Instrumente)E-625 Piezo Servo- Controller & Driver

PI (Physik Instrumente)E-500 ? E-501 Modular Piezo Controller

PI (Physik Instrumente)E-505 Piezo Amplifier Module

PI (Physik Instrumente)E-503 Piezo Amplifier Module

PI (Physik Instrumente)E-509 Signal Conditioner / Piezo Servo Module Related Products

PI (Physik Instrumente)P-612.2 XY Piezo Nanopositioning System

PI (Physik Instrumente)P-733.2DD 高動態精密XY向納米定位系統，30 微米 × 30 微米，直接驅動，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente)P-733.2CD 精密XY向納米定位系統，100 微米 × 100 微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente)P-733.2CL 精密XY向納米定位系統，100 微米 × 100 微米，電容傳感器，平行計量，LEMO連接器

PI (Physik Instrumente)P-733.AP1 接裝板用于將P-733 壓電工作臺安裝在M-545 XY位移平臺上 線性定位器，真空兼容達10-9百帕

PI (Physik Instrumente)P-733.2VL 精密XY向納米定位系統，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，LEMO連接器，真空兼容至10-6百帕

PI (Physik Instrumente)P-733.2VD 精密XY向納米定位系統，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器，真空兼容至10-6百帕

PI (Physik Instrumente)P-733.2UD 精密XY向納米定位系統，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕

PI (Physik Instrumente)P-734.2CD 高精度XY納米定位系統，小跳動，100μm×100μm，電容式傳感器，并行計量，Sub-D

PI (Physik Instrumente)P-734.2CL 高精度XY納米定位系統，小跳動，100μm×100μm，電容式傳感器，并行計量，LEMO

PI (Physik Instrumente)E-725數字壓電控制器

PI (Physik Instrumente)E-712數字壓電控制器

PI (Physik Instrumente)E-761數字壓電控制器

德國Physik Instrumente- 緊湊型XY壓電位移臺